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第一二零三章 nm光刻机研制成功(第2/2 页)

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8英寸晶圆,也是一项伟大的创举。

陈伟长院士带领光刻机光学研究所,最后研发成功满足500nm光刻机所需要的光学系统。

bsec最后系统合�

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